MFC和MFM可廣泛地應用于石油化工、半導體和集成電路、特種材料學(xué)科、醫藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科學(xué)研究和生產(chǎn)中，其典型應用有：電子工藝設備，如氧化、CVD、擴散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應裝置、配氣和混氣系統、鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。渦街流量計其特點(diǎn)是壓力損失小，量程范圍大，精度高，在測量工況體積流量時(shí)幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數的影響。無(wú)可動(dòng)機械零件，因此可靠性高，維護量小。儀表參數能長(cháng)期穩定。渦街流量計采用壓電應力式傳感器，可靠性高，可在-20℃～+250℃的工作溫度范圍內工作。有模擬標準信號，也有數字脈沖信號輸出，容易與計算機等數字系統配套使用，是一種比較先進(jìn)、理想的測量?jì)x器。蒸汽流量計主要用于工業(yè)管道中蒸汽介質(zhì)流體的流量測量，蒸汽流量計特點(diǎn)是壓力損失小,量程范圍大,精度高,在測量工況體積流量時(shí)幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數的影響。無(wú)可動(dòng)機械零件，因此可靠性高,維護量小。儀表參數能長(cháng)期穩定。電磁流量計其作用是產(chǎn)生均勻的直流或交流磁場(chǎng)。直流磁路用永久磁鐵來(lái)實(shí)現，其優(yōu)點(diǎn)是結構比較簡(jiǎn)單，受交流磁場(chǎng)的干擾較小，但它易使通過(guò)測量導管內的電解質(zhì)液體極化，使正電極被負離子包圍，負電極被正離子包圍，即電極的極化現象，并導致兩電極之間內阻增大，因而嚴重影響儀表正常工作。當管道直徑較大時(shí)，永久磁鐵相應也很大，笨重且不經(jīng)濟，所以電磁流量計一般采用交變磁場(chǎng)，且是50HZ工頻電源激勵產(chǎn)生的。

應用對象：流量控制器應用系統集成器、專(zhuān)用氣體制造商、真空元件供應商、真空系統集成器、

途和特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量計適用于氣體質(zhì)量的精確測量。它將被測氣體質(zhì)量流量轉換為相應標準狀態(tài)下的氣體體積流或標準狀態(tài)下的氣體質(zhì)量流。

該氣體質(zhì)量流量計具有精度高，使用壽命長(cháng)，重復性好，流量范圍寬，穩定可靠等特點(diǎn)。通過(guò)氣體質(zhì)量測試方法測量氣體，目前在中國處于領(lǐng)先地位。